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保證最終元器件的性能指標(biāo)是光學(xué)元件加工領(lǐng)域的關(guān)鍵問題之一

更新時(shí)間:2022-07-07點(diǎn)擊次數(shù):1241
  光學(xué)元件在各個(gè)領(lǐng)域都有廣泛應(yīng)用,對光學(xué)元件的表面加工精度提出越來越高的要求。如何檢測光學(xué)元件的加工精度,從而用于優(yōu)化加工方法,保證最終元器件的性能指標(biāo),是光學(xué)元件加工領(lǐng)域的關(guān)鍵問題之一。
 
  光學(xué)元件的加工精度包括表面質(zhì)量和面型精度,這些參數(shù)會影響其對光信號的傳播,進(jìn)而影響最終器件的性能。
 
  此外,各種新型光學(xué)元件也需要檢測其表面輪廓,比如非球面,衍射光學(xué)元件,微透鏡陣列等。除了最終光學(xué)元件的加工精度以外,各種光學(xué)元件加工工藝也需要檢測中間過程的三維形貌以保證最終產(chǎn)品的精度,包括注塑、模壓的模具,光學(xué)圖案轉(zhuǎn)印時(shí)的掩膜版,刻蝕過程的圖案深度、寬度等。
 
  三維光學(xué)輪廓儀配備的雙光源技術(shù),同時(shí)實(shí)現(xiàn)白光干涉和相移干涉成像,適用于各種不同光學(xué)樣品、模具的三維形貌測量。在光學(xué)加工領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用。
 
  下面讓我們一起來了解一下三維光學(xué)輪廓儀的特點(diǎn)有哪些吧
 
  1、設(shè)備可以用于光學(xué)元件表面質(zhì)量檢測,可以通過表面粗糙度、表面斜率分布等判斷光學(xué)元件整體散射率,也可以統(tǒng)計(jì)局部的各種缺陷。
 
  2、設(shè)備還可以用于各種光學(xué)元件的面型分析,除了手動(dòng)分析以外,軟件還提供了包括Zernike多項(xiàng)式擬合、非球面分析等功能。
 
  3、由于該設(shè)備能準(zhǔn)確測量和分析光學(xué)元件,在多種先進(jìn)光學(xué)元件中得到廣泛應(yīng)用,包括光柵、菲涅爾透鏡和二元光學(xué)元件等衍射光學(xué)元件,以及微透鏡陣列等。
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