国产毛片一区二区,蜜月视频在线久欧美久日,欧美特黄一区二区三区,欧美日韩性生活免费看

產(chǎn)品中心

Product Center

當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心輪廓儀接觸式輪廓儀P170全自動(dòng)晶圓探針式輪廓儀/臺階儀

全自動(dòng)晶圓探針式輪廓儀/臺階儀

產(chǎn)品簡介

P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀,將P-17臺式系統(tǒng)的測量性能和經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的HRP®-260的機(jī)械傳送臂相結(jié)合。 這樣的組合為機(jī)械傳送臂系統(tǒng)提供了低成本,適用于半導(dǎo)體,化合物半導(dǎo)體和相關(guān)行業(yè)。 P-170全自動(dòng)晶圓探針式輪廓儀/臺階儀可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量,其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。

產(chǎn)品型號:P170
更新時(shí)間:2024-06-17
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:5305
詳細(xì)介紹在線留言
品牌其他品牌價(jià)格區(qū)間面議
產(chǎn)品種類接觸式輪廓儀/粗糙度儀產(chǎn)地類別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域電子/電池,航空航天,電氣,綜合

 全自動(dòng)晶圓探針式輪廓儀/臺階儀P-170該系統(tǒng)結(jié)合了UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺,因而具備出色的測量穩(wěn)定性。通過點(diǎn)擊式平臺控制、頂視和側(cè)視光學(xué)系統(tǒng)以及帶光學(xué)變焦的高分辨率相機(jī)等功能,程序設(shè)置簡便快速。P-170具備用于量化表面形貌的各種濾鏡、調(diào)平和分析算法,可以支持2D或3D測量。并通過圖案識別、排序和特征檢測實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)測量。


一、 全自動(dòng)晶圓探針式輪廓儀/臺階儀功能

    設(shè)備特點(diǎn)

    ·臺階高度:幾納米至1000μm

    ·微力恒力控制:0.03至50mg

    ·樣品全直徑掃描,無需圖像拼接

    ·視頻:500萬像素高分辨率彩色攝像機(jī)

    ·圓弧校正:消除由于探針的弧形運(yùn)動(dòng)引起的誤差

    ·軟件:簡單易用的軟件界面

    ·生產(chǎn)能力:通過測序、圖案識別和SECS/GEM實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)化

    ·晶圓機(jī)械傳送臂:自動(dòng)加載75mm至200mm不透明(例如硅)和透明(例如藍(lán)寶石)樣品


8c61c20277cb6579818f4136e5de2e80.jpg

主要應(yīng)用

    ·臺階高度:2D和3D臺階高度

    ·紋理:2D和3D粗糙度和波紋度

    ·形狀:2D和3D翹曲和形狀

    ·應(yīng)力:2D和3D薄膜應(yīng)力

    ·缺陷復(fù)檢:2D和3D缺陷表面形貌

    工業(yè)應(yīng)用

    ·半導(dǎo)體

    ·化合物半導(dǎo)體

    ·LED:發(fā)光二極管

    ·MEMS:微機(jī)電系統(tǒng)

    ·數(shù)據(jù)存儲

    ·汽車

二、應(yīng)用案例

    ·臺階高度

    P-170可以提供納米級到1000μm的2D和3D臺階高度的測量。 這使其能夠量化在蝕刻,濺射,SIMS,沉積,旋涂,CMP和其他工藝期間沉積或去除的材料。P-170具有恒力控制功能,無論臺階高度如何都可以動(dòng)態(tài)調(diào)整并施加相同的微力。 這保證了良好的測量穩(wěn)定性并且能夠精確測量諸如光刻膠等軟性材料。


    ·紋理:粗糙度和波紋度

    P-170提供2D和3D紋理測量并量化樣品的粗糙度和波紋度。軟件濾鏡功能將測量值分為粗糙度和波紋度部分,并計(jì)算諸如均方根(RMS)粗糙度之類的參數(shù)。


    ·外形:翹曲和形狀

    P-170可以測量表面的2D形狀或翹曲。這包括對晶圓翹曲的測量,例如半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件生產(chǎn)中的多層沉積期間由于層與層的不匹配是導(dǎo)致這種翹曲的原因。P-170還可以量化包括透鏡在內(nèi)的結(jié)構(gòu)高度和曲率半徑。


    ·應(yīng)力:2D和3D薄膜應(yīng)力

    P-170能夠測量在生產(chǎn)包含多個(gè)工藝層的半導(dǎo)體或化合物半導(dǎo)體器件期間所產(chǎn)生的應(yīng)力。使用應(yīng)力卡盤將樣品支撐在中性位置并精確測量樣品翹曲。 然后通過應(yīng)用Stoney方程,利用諸如薄膜沉積工藝的形狀變化來計(jì)算應(yīng)力。2D應(yīng)力通過在直徑達(dá)200mm的樣品上通過單次掃描測量,無需圖像拼接。3D應(yīng)力的測量采用多個(gè)2D掃描,并結(jié)合θ平臺在掃描之間的旋轉(zhuǎn)對整個(gè)樣品表面進(jìn)行測量。


    ·缺陷復(fù)檢

    缺陷復(fù)查用于測量如劃痕深度之類的缺陷形貌。 缺陷檢測設(shè)備找出缺陷并將其位置坐標(biāo)寫入KLARF文件。 “缺陷復(fù)檢"功能讀取KLARF文件、對準(zhǔn)樣本,并允許用戶選擇缺陷進(jìn)行2D或3D測量。


在線留言

留言框

  • 產(chǎn)品:

  • 您的單位:

  • 您的姓名:

  • 聯(lián)系電話:

  • 常用郵箱:

  • 省份:

  • 詳細(xì)地址:

  • 補(bǔ)充說明:

  • 驗(yàn)證碼:

    請輸入計(jì)算結(jié)果(填寫阿拉伯?dāng)?shù)字),如:三加四=7
欧美黄片完整版在线| 日本一区二区高清视频| 亚洲国产懂色AV| 麻豆精品一区二区三区mba智库| 又大又爽又粗视频| 久久亚州精品少妇| 网站黄久久久久| 日韩色色亚洲一区| 久久久九九免费视频| 欧美久久久黄色电影在线观看| 国产精品老色鬼视频| 艹亚洲骚逼| 精品A片天天干| 国产欧美欧美在线香蕉在线| 999久精精品| 奇米777在线一区二区| 美国另类视频一区二区不卡| 熟女视频综合在线| 日韩av一区二区在线影视| 81AV在线观看| 亚洲不卡视频123| www性久久久久| 色精品欧美人妻内射后入| 人妻中文字幕无码一区| 平邑县| 偷拍精品视频99| 精品激情AV| 在线资源中文字幕一区二区三区| 婷婷丁香五月综合大全深深深爱| 欧美粗硬大三级视频在线观看| 一二三区欧美日韩人妻在线| 国产亚洲字幕| 偷拍福利| 成人久久麻豆| 丝袜熟女一二三区| 人妻中文影音资源| 日本加勒比久久精品| 久久青青草国产| 国产精品深深鲁| 日个月午夜福利视频| 久久久久久94精品视频一区二区|