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Alpha-Step D-300/500 探針式輪廓儀支持臺階高度、粗糙度、翹曲度和應力的2D 測量。Alpha-Step臺階儀光學杠桿傳感器技術提供高分辨率測量，大垂直范圍和低觸力測量功能。 探針測量技術的優(yōu)點是它是直接測量，與材料特性無關。可調(diào)節(jié)的觸力以及探針的選擇都使其可以對各種結構和材料進行測量。通過測量粗糙度和應力，可對工藝進行量化，確定添加或去除的材料量，以及結構的任何變化。