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P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀，將P-17臺式系統(tǒng)的測量性能和經(jīng)過生產(chǎn)驗證的HRP®-260的機(jī)械傳送臂相結(jié)合。 這樣的組合為機(jī)械傳送臂系統(tǒng)提供了低成本，適用于半導(dǎo)體，化合物半導(dǎo)體和相關(guān)行業(yè)。 P-170全自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量，其掃描可達(dá)200mm而無需圖像拼接。

自動晶圓探針式輪廓儀/臺階儀P17。該系統(tǒng)支持對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力2D和3D測量，掃描可達(dá)200mm無需圖像拼接。結(jié)合UltraLite®傳感器、恒力控制和超平掃描平臺，有出色測量穩(wěn)定性。

P-7晶圓探針式輪廓儀/臺階儀保持了P-17技術(shù)的測量性能，并作為臺式探針輪廓儀平臺提供了好的性價比。 P-7可以對臺階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D測量，其掃描可達(dá)150mm而無需圖像拼接。從可靠性表現(xiàn)來看， P-7具有較好的測量重復(fù)性。

KLA先進(jìn)的探針式臺階儀Alpha-Step D-600，帶有電動載物臺?？蓽y量納米級至1200um臺階高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力。且其具有5.0A (1σ)或0.1%臺階高度重復(fù)性以及亞埃級的分辨率。這種Alpha-Step高精度臺階儀/輪廓儀有著可選的3D輪廓分析功能。