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自由曲面三維面型檢測儀 自由曲面光學(xué)元件應(yīng)用于智能車載顯示、AR 顯示、手機鏡頭、激光顯示、照明、 光刻等前沿領(lǐng)域，自由曲面三維面型檢測儀，能夠非接觸測量光學(xué)鏡面元件的三維面型數(shù)據(jù)，開展三維輪廓分析和三維誤差比對，并生成包含多項面型誤差指標(biāo)的測量報告。 從產(chǎn)品研發(fā)到生產(chǎn)過程及質(zhì)量控制，這款獨立的系統(tǒng)可用于開展光學(xué)設(shè)計、加工與檢測的前端研發(fā)設(shè)計過程、智能生產(chǎn)過程和后端質(zhì)量檢測過程。

具備三維翹曲（平整度）及薄膜應(yīng)力的檢測功能，適用于半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)、半導(dǎo)體制程工藝開發(fā)、玻璃及陶瓷晶圓生產(chǎn)

Strain Viewer 內(nèi)應(yīng)力檢測儀 具備化合物晶圓內(nèi)應(yīng)力分布測量及缺陷篩查等檢測功能